如何控制凈化車間的壓差

　　凈化車間具體工藝對溫度的要求，由于加工精度越來越精細(xì)，所以對溫度波動范圍的要求越來越??；要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間不宜超過25度。

　　濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50%時易生銹。此外，濕度太高時將通過空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面耐難以清除。相對濕度越高,粘附的難去掉，但當(dāng)相對濕度低于30%時，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對于硅片生產(chǎn)*溫度范圍為35—45%。

　　凈化車間壓差控制的基本原理是控制送風(fēng)量、回風(fēng)量和排風(fēng)量。當(dāng)送入凈化車間內(nèi)的空氣量適當(dāng)?shù)拇笥诨仫L(fēng)和排風(fēng)量時，室內(nèi)則可維持一定的正壓值。此時，在室內(nèi)外靜壓差的作用下，通過圍護結(jié)構(gòu)不嚴(yán)密處向外滲漏的風(fēng)量與機械進(jìn)出風(fēng)量的差額相等。

　　凈化車間壓差維持的難題在于機械送風(fēng)量與出風(fēng)量是動態(tài)變化的。對于潔凈空調(diào)系統(tǒng)來說，過濾器積塵會造成新風(fēng)、送風(fēng)管路阻力增加，從而影響風(fēng)量，排風(fēng)設(shè)備的時開時停也會導(dǎo)致排風(fēng)量的變化；此外，與樓道、室外相鄰還會因熱壓、風(fēng)壓的變化影響房間的壓差。因此潔凈室的壓差值需要經(jīng)常進(jìn)行檢查，并依次對新、送、回、排風(fēng)通路的閥門作出相應(yīng)的調(diào)整。